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第338章 euv光刻机研发先奖5000万邓小岩感动了

科研,如逆水行舟,不进则退。

70纳米光刻机研发成功,难道陈皓心里不高兴吗?当然高兴。

但他心里很清楚,这点领先远远不够。

他要的是……碾压!

让欧美绝望的碾压!

另一边,听到陈皓这么说,众人神情一滞。

第二轮研发?“浸润式光刻机极限是多少纳米?”

陈皓看向众人。

“45纳米?”

“我觉得能到30纳米左右。”

一群科学家七嘴八舌。

对他们而言,更高精度没深入研究,主要靠自身认知推测,给不了准确答案。

“大胆一点!”

陈皓一字一顿道:“一旦解决光源问题,加上更多细节提升,极限能达到7纳米!”

哗!

此话一出,众人皆惊。

要知道,他们刚研发出来的,精度只有70纳米而已。

7纳米光刻机!

提高多少?简直是骇人听闻!

当然,用同样的浸润式技术,想达到7纳米极限精度,会有一个漫长过程。

“校长。”

陈皓沉声喊道。

“到!”

谢武立刻上前。

其他场合,他称呼陈皓为小陈,但在今天这场合……陈皓如将军。

他为士兵。

士兵必须听命于将军——军令如山!

“由你牵头组建团队,对浸润式光刻机深度研发,开发深紫外光技术。”

陈皓下达指令。

经过第一轮研发,浸润式技术已经成熟。

提高精度的核心是光源。

当然,其他方面也要提升,但难度相对低很多。

“是!”

谢武激动坏了。

深紫外光?他听过,却没有相关研究。

以他对陈皓的了解,肯定会给出技术资料,而他也将有机会成为,该领域研发第一人!

“陈总,这……”

杜杨和顾经纶傻眼了。

新一轮研发中,谢武直接组建团队,他俩难道要打下手?莫非……谢武是上交大校长,跟陈总有师生之名。

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